Nanofabrication Facility
Die Nanofabrication Facility verfügt über einen Reinraum mit 450 m² Fläche und ISO 7 (Klasse 10000), ISO 6 (Klasse 1000) und ISO 5 (Klasse 100) Bereichen, die mit der modernsten Nanofabrikationstechnologie ausgestattet sind.
Im Allgemeinen bietet die Nanofabrication Facility ForscherInnen und Studierenden Werkzeuge an, die sie bei ihrer Forschung unterstützen. Darüber hinaus entwickelt, optimiert und wartet sie Mikro- und Nanofabrikationsprozesse.
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Leistungen
Die Nanofabrication Facility bietet …
- einen Reinraum auf dem neuesten Stand der Technik für die Mikro- und Nanofabrikationsverarbeitung
- spezialisiertes Personal, das die Verfügbarkeit von Verarbeitungsanlagen und die Entwicklung neuer Verarbeitungsverfahren gewährleistet
- Schulung und Verfügbarkeit für alle BenutzerInnen
Beschreibung der Reinräume am ISTA
Der Reinraum ist in zwei Einheiten unterteilt, die sich im Erdgeschoss und im Untergeschoss des Lab and Office Building West (I21) am ISTA befinden.
Erdgeschoss
Der Hauptteil des Reinraums ist im Erdgeschoss untergebracht und ist in folgende Bereiche unterteilt:
- Fotolithografie (20 m²)
- Nasschemie (25 m²)
- Deposition (24 m²)
- Deposition (25 m²)
- Charakterisierung (26 m²
- PDMS-Fertigung (17 m²)
- Werkzeuge (18 m²)
- Reinraumflur (57 m²)
- Graue Zone (130 m²)
Untergeschoss
Der Reinraum in diesem Stock erstreckt sich über 70 m² (mit möglicher Erweiterung auf bis zu 120 m²). Er bietet die besten Voraussetzungen für wenig Vibrationsrauschen und elektromagnetisches Rauschen sowie Temperaturstabilität. Diese Einheit unterteilt sich in die folgenden Bereiche:
- Elektronenstrahl-Lithografie (21 m²)
- Rasterelektronenmikroskop (14 m²)
- Charakterisierung 1 (10 m²)
- Charakterisierung 2 (11 m²)
- Reinraumflur (20 m²)
- Graue Zone (25 m²)
Soft Wall Reinraum
Der Soft Wall Reinraum befindet sich im Erdgeschoß, bestehend aus dem Soft Wall Reinraum mit einer Fläche von 24 m² und einem Grauraum-Bereich von 16 m².
Kleines Labor
Dort befinden sich im 2. Stock zusätzliche Räume für Geräte zur Charakterisierung und zur Bond-Erstellung, die im Reinraum nicht zugeordnet werden können (20 m²).
NFF Characterization Labor
Das NFF Characterization Lab befindet sich im 3. Stock (24 m²).
Ausstattung
- E-Beam and Optical Lithography
- Thin Film Deposition
- Wet and Dry Etching
- Inspection and Charaterization
- Microscopy and Nanomanipulation
- Back-End Processing
- Soft lithography
- Nano 3D Printer
MitarbeiterInnen
Bruno Martins Magalhaes
Cleanroom Technology/Process Engineering
+43 2243 9000 2087
Rodolfo Previdi
Cleanroom Technology/Process Engineering
+43 2243 9000 2049
Evgeniia Volobueva
Cleanroom Technology/Process Engineering
+43 2243 9000 2197
Kontakt
Institute of Science and Technology Austria
c/o Nanofabrication Facility
Am Campus 1, A-3400 Klosterneuburg, Austria
Büro: Lab and Office Building West, Erdgeschoss
Wissenschaftlicher Leiter der Nanofabrication Facility:
Georgios Katsaros
Kontakt für Fragen zur Facility: nff@ist.ac.at
Manager:
